[发明专利]产生极紫外光辐射的装置在审
| 申请号： | 201910760768.1 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110837209A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 谢劼;陈冠宏;许峻嘉;简上傑;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种产生极紫外光(Extreme Ultraviolet；EUV)辐射的装置，此装置包含液滴产生器、激发激光、能量侦测器与反馈控制器。液滴产生器是配置以产生目标液滴。激发激光是配置以使用激发脉冲加热此些目标液滴，以将目标液滴转换为电浆。当目标液滴转换为电浆时，能量侦测器是配置以量测极紫外光能量中所产生的变化。反馈控制器是配置以基于极紫外光能量中的变化来调整液滴产生器及/或激发激光的参数。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 紫外 光辐射 装置 | ||
【主权项】：
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