[发明专利]一种基于激光干涉的大量程长度测量量具综合检校装置

摘要

本发明公开了一种基于激光干涉的大量程长度测量量具综合检校装置，属于长度测量量具的计量检定技术领域，包括底座，所述底座的顶部为工作平台，在工作平台上设有校准棒检校机构和卡尺检校机构和激光干涉组件；所述校准棒检校机构包括设置在工作平台上的直轨道，在直轨道上滑动连接有干涉镜支架、左测量座、可调V型支架、四维工作台和右测量座，在左测量座内浮动连接有左测微杆，在左测微杆的非测量端设有反射镜支座；本发明特别适合大量程通用卡尺、内径千分尺、校对棒的检定和校准；其中，干涉光路的调整只与待测工件移动部分的直线度有关，而对底座上直轨道的线性度要求不高，因此大大降低了底座本身的制作要求，降低了成本。

主权项

1.一种基于激光干涉的大量程长度测量量具综合检校装置，包括底座，所述底座的顶部为工作平台，其特征在于，在工作平台上设有校准棒检校机构和卡尺检校机构；所述校准棒检校机构包括设置在工作平台上的直轨道，在直轨道上滑动连接有干涉镜支架、左测量座、可调V型支架、四维工作台和右测量座，所述干涉镜支架位于左测量座的左侧，所述可调V型支架、四维工作台均位于左测量座和右测量座之间，在左测量座内浮动连接有左测微杆，在右测量座内设有右测微杆，在左测微杆的非测量端设有反射镜支座；所述卡尺检校机构包括设置在工作平台上的反射镜支架、左卡尺支撑座和右卡尺支撑座，所述反射镜支架位于左卡尺支撑座的左侧，左卡尺支撑座和右卡尺支撑座分别用于夹持固定大量程通用卡尺的两端；还包括激光干涉组件，所述激光干涉组件包括激光干涉仪支架、激光干涉仪、干涉镜和多个反射镜，所述干涉镜和反射镜均配有机械固定座或者磁力固定座；其中干涉镜安装在干涉镜支架上，反射镜支座、反射镜支架和大量程通用卡尺的活动爪上各固定一个反射镜。