[发明专利]用于沉积源的非接触输送的装置和方法有效
| 申请号： | 201910765172.0 | 申请日： | 2016-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN110527972B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·班格特;奥利弗·海默尔;迪特尔·哈斯;托马索·维尔切斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于非接触式运输沉积源的设备。设备包括沉积源组件。沉积源组件包括沉积源。沉积源组件包括第一主动磁性单元。设备包括在源运输方向上延伸的引导结构。沉积源组件沿引导结构是可移动的。第一主动磁性单元与引导结构经构造以用于提供第一磁浮力以悬浮沉积源组件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 接触 输送 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于垂直基板处理的用于非接触式地运输沉积源(120)的设备(100)，包括：/n沉积源组件(110)，包括：/n所述沉积源，其中所述沉积源具有在实质垂直方向上延伸的线性形状；及/n第一主动磁性单元(150)；以及/n引导结构(170)，所述引导结构(170)在源运输方向上延伸，其中所述沉积源组件沿所述引导结构是可移动的；/n其中，所述第一主动磁性单元和所述引导结构经构造以用于提供第一磁浮力(F1)以悬浮所述沉积源组件。/n
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