[发明专利]一种半导体探针测试台用探针

摘要

本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种半导体探针测试台用探针，包括套管、针头，针头安装在套管的底部，所述套管的内部固定安装有定位块，所述针头的端部固定连接有位于套管内部的滑动块，所述定位块与滑动块之间安装有弹簧。使得针头受到承载台的冲击力度时，能瞬间向内侧收缩，使得针头由传统的硬接触优化为弹性接触，使得针头能自适应晶圆的位置，使得针头在使用过程中，自动收缩或扩张不同的位置，同时针头可以接触晶圆不同的位置，当针头受到冲击时，自动收缩减缓受到的冲击力，利用弹力的作用，减缓针头的扭曲力，使得针头在使用中，始终保持竖直的状态，同时能接触晶圆不同的位置，从而提高晶圆在测试时的精确性。

主权项

1.一种半导体探针测试台用探针，包括套管(1)、针头(2)，针头(2)安装在套管(1)的底部，其特征在于：所述套管(1)的内部固定安装有定位块(4)，所述针头(2)的端部固定连接有位于套管(1)内部的滑动块(5)，所述定位块(4)与滑动块(5)之间安装有弹簧(6)，所述滑动块(5)上安装有磁块(7)，所述滑动块(5)的顶部固定连接有位于磁块(7)两侧的支撑杆(8)，所述支撑杆(8)的侧面固定连接有定位座(9)，所述定位座(9)的内部固定连接有定位杆(10)，所述定位杆(10)的端部固定连接有定位板(11)，所述定位板(11)的端部固定连接有磁环(12)，所述磁环(12)与磁块(7)为异级相吸状态。/n