[发明专利]基板的部分去除加工方法在审

专利信息
申请号: 201910772469.X 申请日: 2019-08-21
公开(公告)号: CN110856887A 公开(公告)日: 2020-03-03
发明(设计)人: 今泉阳一;今出崇昭 申请(专利权)人: 三星钻石工业株式会社
主分类号: B23K26/362 分类号: B23K26/362;B23K26/16;B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/70
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 袁波;刘继富
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种基板的部分去除加工方法。贴合基板(W)部分去除加工方法具有:轮廓形成步骤,通过沿去除部分(32)的轮廓照射激光(L),在厚度方向整个区域上形成加工痕迹;去除部分加工步骤,通过向去除部分(32)照射激光(L),在厚度方向整个区域上形成加工痕迹;以及通过对去除部分(32)施加振动,从而对去除部分(32)进行粉碎并除去的步骤。在利用激光沿规定的轮廓使轮廓内侧部分掉落来去除时,使加工后的产品的端面的加工精度提高。
搜索关键词: 部分 去除 加工 方法
【主权项】:
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