[发明专利]湿度感测器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910776385.3 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110333272A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 涂煜杰 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明提供一种湿度感测器及其制造方法。湿度感测器包含一基板、一电极层、一半导体层及一湿度感测层。电极层设置于基板上。半导体层位于电极层上。湿度感测层位于半导体层上，其中湿度感测层系由式(I)结构所组成： |
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| 搜索关键词： | 湿度感测器 半导体层 湿度感测 式( I ) 电极层 基板 烷基 直链或支链 个数量级 脱氧核醣 灵敏度 单股 核酸 阻抗 制造 | ||
【主权项】：
1.一种湿度感测器，其特征在于，包含：一基板；一电极层，设置于该基板上；一半导体层，位于该电极层上；以及一湿度感测层，位于该半导体层上，其中该湿度感测层系由式(I)结构所组成：![]()
其中R为C1～C20的直链或支链烷基，X为一单股脱氧核醣核酸。
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