[发明专利]一种绕线式电弧靶装置在审
| 申请号： | 201910779632.5 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110408902A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 朱世元;闫乃明 | 申请（专利权）人： | 深圳市金耀玻璃机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 程宇 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种绕线式电弧靶装置，包括装置本体、密封端盖和水冷端头；密封端盖设置在装置本体的两端；装置本体的一端穿过密封端盖与水冷端头连接，且水冷端头上设置动力组件；装置本体整体呈圆柱形；装置本体包括靶材层和磁钢组件；靶材层设置在磁钢组件的外周；靶材层两端与密封端盖密封设置，以在靶材层内部形成密封空间；磁钢组件包括连接件、磁钢和线圈；连接件呈筒状，连接件设置在靶材层的内周；线圈缠绕在磁钢的外周，线圈的外周压紧连接件的内周。本发明中，提高了靶材的利用率，为镀膜行业带来了直接经济利益，减少了浪费，降低了成本；本发明，提高靶材粒子的沉积速度，提高了镀膜时间，减短了镀膜生产周期，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 装置本体 密封端盖 磁钢组件 连接件 水冷 外周 电弧靶 绕线式 磁钢 镀膜 端头 内周 压紧连接件 动力组件 镀膜生产 经济利益 密封空间 密封设置 生产效率 线圈缠绕 筒状 沉积 粒子 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种绕线式电弧靶装置，其特征在于，包括装置本体(1)、密封端盖(2)和水冷端头(3)；密封端盖(2)设置在装置本体(1)的两端；装置本体(1)的一端穿过密封端盖(2)与水冷端头(3)连接，且水冷端头(3)上设置动力组件(4)；装置本体(1)整体呈圆柱形；装置本体(1)包括靶材层(11)和磁钢组件(12)；靶材层(11)设置在磁钢组件(12)的外周；靶材层(11)两端与密封端盖(2)密封设置，以在靶材层(11)内部形成密封空间；磁钢组件(12)包括连接件(15)、磁钢(14)和线圈(13)；连接件(15)呈筒状，连接件(15)设置在靶材层(11)的内周；线圈(13)缠绕在磁钢(14)的外周，线圈(13)的外周压紧连接件(15)的内周。
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