[发明专利]连续均匀镀膜的调节方法

摘要

一种连续均匀镀膜的调节方法，通过光度计、椭偏仪或台阶仪测试当前玻璃上各位置的膜层厚度，进而掌握膜厚变化规律；在旋转阴极的A管与CM3腔室边缘处，加装光电感应器；光电感应器与控制器电连接，控制器与旋转阴极电连接；当镀膜框架KJ1到达光电感应器的位置时，计时器计时“0”秒，根据掌握的膜厚变化规律，降低或升高A管的转速r；降低转速r会降低溅射率s，从而降低镀膜厚度，升高转速r会增加溅射率s，从而增加镀膜厚度；实现行进方向膜厚均匀性的精细调节。

主权项

1.一种连续均匀镀膜的调节方法，其特征在于包括以下步骤：1）通过光度计、椭偏仪或台阶仪测试当前玻璃上各位置的膜层厚度，进而掌握膜厚变化规律；2）在旋转阴极（1）的A管（101）与CM3腔室边缘处，加装光电感应器（2）；光电感应器（2）与控制器电连接，控制器与旋转阴极（1）电连接；3）当KJ1到达光电感应器（2）的位置时，计时器计时“0”秒，根据掌握的膜厚变化规律，降低或升高A管（101）的转速r；降低转速r会降低溅射率s，从而降低镀膜厚度，升高转速r会增加溅射率s，从而增加镀膜厚度；4）KJ1继续行驶T₁秒后，恢复A管（101）至正常转速r；再经过T₂秒后，计时器计时恢复至“0”秒状态；5）当KJ2到达光电感应器（2）的位置时，根据KJ2行进方向膜厚变化规律，降低或升高A管（101）的转速r；6）KJ2继续行驶T1秒后，恢复A管（101）至正常转速r；再经过T₂秒后，计时器计时恢复至“0”秒状态；7）重复步骤5）和步骤6），依次完成KJ3至KJN的镀膜。