[发明专利]用于探针卡制造、检测及维修的设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201910781444.6 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110501539A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 杰西·吕 | 申请（专利权）人： | 杰西·吕 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R3/00;G01R27/02;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/08 |
| 代理公司： | 31229 上海唯源专利代理有限公司 | 代理人： | 宋小光<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 美国加州苗*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于探针卡制造及检测的设备，包括：工作台，其上开设有检修窗口；支设于所述工作台下方调节机构，所述调节机构可相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节；置于所述调节机构上、供固定探针卡的安装座；固设于所述工作台底面的打磨垫，所述打磨垫与所述检修窗口错开设置；以及驱动连接所述调节机构的驱动机构，通过所述驱动机构驱动所述调节机构相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节，进而带动所述安装座上的探针卡移动并可进行磨针作业和探针位置的检测及调整。本发明结合探针卡磨针、测量、调整以及测量与分析各功能在一个设备上，减低了各设备费用，有效的简化整个探针卡制造和维修。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 探针卡制造 检修窗口 驱动机构 移动调节 安装座 探针卡 磨针 打磨 测量 错开设置 固定探针 驱动连接 设备费用 探针位置 检测 固设 驱动 维修 移动 分析 | ||
【主权项】：
1.一种用于探针卡制造、检测及维修的设备，其特征在于，包括：/n工作台，其上开设有检修窗口；/n支设于所述工作台下方调节机构，所述调节机构可相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节；/n置于所述调节机构上、供固定探针卡的安装座；/n固设于所述工作台底面的打磨垫，所述打磨垫与所述检修窗口错开设置；以及/n驱动连接所述调节机构的驱动机构，通过所述驱动机构驱动所述调节机构相对于所述工作台沿X、Y及Z方向进行移动调节，进而带动所述安装座上的探针卡移动至打磨垫的位置进行磨针作业，而后通过所述调节机构的移动调节带动所述探针卡移动至所述检修窗口进行探针位置的检测及调整。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杰西·吕，未经杰西·吕许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910781444.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：探针、检查夹具、检查装置、以及探针的制造方法
- 下一篇：一种电子负载电路
