[发明专利]防止污渍的光刻胶剥离剂组合物及平板显示器基板的制法在审

专利信息
申请号: 201910788185.X 申请日: 2013-10-31
公开(公告)号: CN110597024A 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 高京俊;慎蕙蠃;李喻珍 申请(专利权)人: 东友精细化工有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42
代理公司: 11270 北京派特恩知识产权代理有限公司 代理人: 李雪;陈万青
地址: 韩国全*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开了一种防止污渍的光刻胶剥离剂组合物以及一种制造平板显示器基板的方法,所述光刻胶剥离剂组合物包含:(a)由下面的化学式1所表示的二醇醚;(b)碱性化合物;(c)非质子性极性溶剂;以及(d)抗腐蚀剂:R‑(OCH
搜索关键词: 光刻胶剥离剂组合物 二醇醚 溶质 非质子性极性溶剂 辛醇/水分配系数 平板显示器基板 甲基或乙基 碱性化合物 分配系数 抗腐蚀剂 污渍 辛醇 制造
【主权项】:
1.一种防止污渍的光刻胶剥离剂组合物,包含:/n(a)由下面的化学式1所表示的二醇醚;/n(b)碱性化合物;/n(c)非质子性极性溶剂;以及/n(d)抗腐蚀剂:/nR-(OCH
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