[发明专利]工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备

摘要

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备。所述工艺数据分析方法包括如下步骤：采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；整合多张所述数据存储表，形成汇总表；在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注。本发明能够使得工程师能够直观的、便捷的、快速的了解工艺流程进行状况以及机台设备的状态，大大减少了工程师分析工艺流程的时间，提高了工艺数据分析的效率。