[发明专利]酸性蚀刻液在审
| 申请号： | 201910789066.6 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110438501A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李再强;黄文涛;梁民 | 申请（专利权）人： | 深圳市祺鑫天正环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 陈思凡 |
| 地址： | 518125 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸性蚀刻液，所述酸性蚀刻液包括：盐酸、氯化铵、氯化铜、碱金属盐类，以及硝酸铵、硝酸钾、硝酸以及尿素中的一种或其组合，其中溶剂为水。本发明技术方案提供了一种酸性蚀刻液，使得在蚀刻反应中蚀刻液既能保证高浓度的溶铜量，又能维持高速度的蚀刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性蚀刻液 蚀刻 硝酸钾 碱金属盐类 氯化铜 氯化铵 蚀刻液 硝酸铵 硝酸 溶剂 溶铜 尿素 盐酸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种酸性蚀刻液，其特征在于，所述酸性蚀刻液包括：盐酸、氯化铵、氯化铜、碱金属盐类，以及硝酸铵、硝酸钾、硝酸以及尿素中的一种或其组合，其中溶剂为水。
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