[发明专利]包括接触件和与接触件侧壁交界的导电线的半导体装置在审
申请号: | 201910795799.0 | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN110890345A | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 梁起豪 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L23/48 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;张帆 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种半导体装置,包括:衬底;顺序地堆叠在衬底上的第一介电层和第二介电层;接触件,其穿透第一介电层并朝向衬底延伸;以及导电线,其设置在第二介电层中并电连接到接触件。导电线在第一方向上延伸。接触件包括位于第一介电层中的下段和位于第二介电层中的上段。导电线在第二方向上的宽度随着距衬底的距离减小而减小。第二方向与第一方向相交。接触件的上段的侧壁与导电线接触。 | ||
搜索关键词: | 包括 接触 侧壁 交界 导电 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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