[发明专利]一种光学邻近效应修正方法

摘要

本发明提供了一种光学邻近效应修正方法，包括：筛选步骤，筛选出第一类型边缘线，其中，第一类型边缘线包括依次连接的第一片段、第二片段和第三片段，第一片段和第三片段的两端点的拐角类型均同为外角和平角的组合或者同为内角和平角的组合，所述第二片段的两端点的拐角类型同为平角；量测步骤，获得每个片段上若干参考位置点的边缘放置误差样本值；计算步骤，以预先设定的边缘放置误差的取值方式，计算第一类型边缘线的所述三个片段的边缘放置误差；修正步骤，根据计算步骤中确定的边缘放置误差，对第一类型边缘线进行修正；其中，第二片段的边缘放置误差的取值方式与第一片段、第三片段保持相同，由此减少了光学邻近效应修正的时间。

主权项

1.一种光学邻近效应修正方法，其特征在于，包括：/n筛选步骤，筛选出第一类型边缘线，其中，所述第一类型边缘线为具有三个片段的边缘线，所述三个片段包括依次连接的第一片段、第二片段和第三片段，所述第一片段和所述第三片段的两端点的拐角类型均同为外角和平角的组合或者同为内角和平角的组合，所述第二片段的两端点的拐角类型同为平角；/n量测步骤，获得每个片段上若干参考位置点的边缘放置误差样本值；/n计算步骤，以预先设定的边缘放置误差的取值方式，计算所述第一类型边缘线的所述三个片段的边缘放置误差，其中，取值方式是指，根据所述片段端点的拐角类型，从多个边缘放置误差样本值中选取作为边缘放置误差的统计值的选取方式；/n修正步骤，根据所述计算步骤中确定的所述边缘放置误差，对所述第一类型边缘线进行修正；/n其中，所述第一片段和所述第三片段的边缘放置误差的取值方式根据该片段的两端点的拐角类型确定，所述第二片段的边缘放置误差的取值方式与所述第一片段、所述第三片段保持相同。/n