[发明专利]一种三甲基铟低温提纯装置及低温提纯方法在审

专利信息
申请号: 201910799652.9 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN110420537A 公开(公告)日: 2019-11-08
发明(设计)人: 顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 申请(专利权)人: 苏州普耀光电材料有限公司
主分类号: B01D53/00 分类号: B01D53/00;B01D5/00;C07F5/00
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 李凤娇
地址: 215124 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种三甲基铟低温提纯装置,包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵,提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料,提纯原料釜上连接有高纯载气管路,提纯原料釜通过一伴热管与接收罐连接,接收罐又与真空保护装置连接,该真空保护装置又与真空泵连接,接收罐内设有冷凝装置。本发明还公开了一种三甲基铟低温提纯方法,该方法中,提纯原料釜内的压力小于50torr,提纯原料釜中的温度控制在30~80℃,接收罐内的温度控制在‑30~30℃,高纯载气带动三甲基铟物料进入接收罐内,经过冷却,得到提纯后的三甲基铟。该提纯方法对设备的要求低,设备成本投入低,操作简单,提高了三甲基铟的纯度,且大大提高了提纯过程的安全性和稳定性。
搜索关键词: 提纯 三甲基铟 原料釜 真空保护装置 接收罐 提纯装置 高纯 真空泵连接 冷凝装置 设备成本 载气管路 伴热管 对设备 真空泵 载气 冷却
【主权项】:
1.一种三甲基铟低温提纯装置,其特征在于:包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵,提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料,所述提纯原料釜上连接有高纯载气管路,高纯载气经由该高纯载气管路进入提纯原料釜中,该提纯原料釜通过一伴热管与所述接收罐连接,所述接收罐又通过一尾气管与所述真空保护装置连接,该真空保护装置通过一抽真空管与所述真空泵连接,所述提纯原料釜连接有低温加热装置,所述伴热管上绕设有电加热管,所述接收罐内设有冷凝装置,所述真空保护装置包括冷阱和杜瓦罐,该冷阱设置于杜瓦罐内,冷阱与杜瓦罐之间设置有液氮,所述尾气管与所述冷阱连接,冷阱通过所述抽真空管与所述真空泵连接。
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