[发明专利]陶瓷加热器以及筒状轴的制法有效
申请号: | 201910802401.1 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110876211B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 海野丰 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H05B3/06 | 分类号: | H05B3/06;H05B3/22;H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;王莉莉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供陶瓷加热器(10),其具备:具有载置晶片的晶片载置面(20a)并内置有电阻发热体(22)的陶瓷制的板(20);和一端与板(20)的背面接合的陶瓷制的筒状轴(30)。筒状轴(30)的纵截面的形状是具备至少在一处具有S字形部分或者拐点的弯曲部分的形状,筒状轴(30)具有从筒状轴(30)的一端贯通至另一端且轴线沿筒状轴(30)的纵截面的形状的贯通孔(36)。 | ||
搜索关键词: | 陶瓷 加热器 以及 筒状轴 制法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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