[发明专利]异质整合组装结构及其制造方法有效
申请号: | 201910802867.1 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN110867430B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 林育民;林昂樱;吴昇财;张道智;骆韦仲 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/538;H01L21/768;H01L21/48 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种异质整合组装结构及其制造方法,其中该异质整合组装结构包括基底、管芯、钝化层、第一重布线层、第二重布线层以及连接部。管芯安装于所述基底上。管芯具有有源面与无源面。有源面具有接垫。钝化层覆盖所述管芯的侧壁与表面,裸露出所述接垫的表面。第一重布线层位于钝化层上,电连接接垫。第二重布线层位于基底上,与管芯相邻。连接部连接第一重布线层与第二重布线层。 | ||
搜索关键词: | 整合 组装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院,未经财团法人工业技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910802867.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。