[发明专利]一种工作台设备及工作台垂向清零误差的测量方法有效
| 申请号： | 201910804377.5 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112444200B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 徐亚磊;张建新 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工作台设备及工作台垂向清零误差的测量方法，工作台设备包括：投影物镜、主基板、工作台、控制器和至少两个垂向测量器；每个垂向测量器包括对应设置的光线发射器和光线接收器，设置于主基板靠近工作台的一侧；在垂直于主基板的平面内，对应设置的光线发射器和光线接收器均设置于投影物镜的浸没头的同一侧；光线接收器接收对应光线发射器发射的，并经工作台上第一测量点或第二测量点反射的测量光线；控制器根据第一测量点和第二测量点的垂向高度获取工作台的垂向清零误差。本发明提供了一种工作台设备及工作台垂向清零误差的测量方法，以解决进行垂向清零误差的测量时，一套干涉仪系统无法覆盖工作台的全行程的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工作台 设备 清零 误差 测量方法 | ||
【主权项】：
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