[发明专利]一种感光性树脂组合物及其用途有效
| 申请号： | 201910805259.6 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110488570B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 朱高华;李伟杰;周光大 | 申请（专利权）人： | 浙江福斯特新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 311305 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光性树脂组合物及其用途。该树脂组合物包括40‑70重量份的碱可溶性树脂、20‑50重量份的光聚合单体、0.5‑10.0重量份光引发剂和0.1‑10.0重量份添加剂；所述添加剂包括0.1‑8.0重量份的含有碳酸酯结构的增塑剂。该感光性树脂组合物用作干膜抗蚀剂，具有退膜速度快、退膜碎片较小、柔韧性优异等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感光性 树脂 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，该树脂组合物包括40-70重量份的碱可溶性树脂、20-50重量份的光聚合单体、0.5-10.0重量份光引发剂和0.1-10.0重量份添加剂；所述添加剂包括0.1-8.0重量份的含有碳酸酯结构的增塑剂。/n
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