[发明专利]一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺有效
申请号: | 201910805965.0 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN110534437B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 宗荣生;戴赟彬;白艳;侯广西;蒋超 | 申请(专利权)人: | 宜兴市三鑫电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 无锡市天宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 蒋何栋 |
地址: | 214241 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,可以实现在进行母排和电极等电子元器件时,抛弃传统的焊盘形式,采用新型的定位筒形式,通过预先设计的延伸型导电件,一方面实现稳定的电性连接,另一方面可以代替现有的工装实现初定位作用,在滴加焊膏后直接进入焊接工序,大幅降低成本和装配的繁琐性,使用的焊膏量与传统工艺比较大幅减少,仅需要极少量的焊膏滴加至定位筒中,即可实现精准、稳定的焊接,进而降低后续工艺的清洗压力,甚至在滴加量严格控制的情况下达到免清洗的地步,采用新型工艺制备的IGBT模块在成本和效率上具有无可比拟的优势,且规避了许多影响产品质量的因素,具有极高的市场推广价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 igbt 模块 新型 制备 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种基于IGBT模块的母排的新型制备工艺,其特征在于:所述IGBT模块包括衬板(2)、基板(1)、母排(5)、电极(4)、半导体芯片(3)和外壳,所述衬板(2)上固定连接有若干定位筒(6),所述定位筒(6)内开凿有柱形孔,所述柱形孔下端壁上固定连接有导电块(8),且导电块(8)下端与衬板(2)上的电路连接,所述母排(5)和电极(4)的引脚和端子处均固定连接有导电针(7),且导电针(7)分别与母排(5)和电极(4)一体成型,所述IGBT模块的制备工艺包括以下步骤:/n步骤一、原材准备:衬板(2)按照设计电路拓扑在表面刻蚀出电路版图,确定半导体芯片(3)、母排(5)和电极(4)的位置;/n步骤二、元件检查:分别检查衬板(2)、基板(1)、母排(5)、电极(4)、半导体芯片(3)和外壳,确保合格后进入步骤三,否则更换合格的元件;/n步骤三、第一次焊接:将半导体芯片(3)预先焊接在衬板(2)上,得到衬板(2)组件;/n步骤四、第二次焊接:将衬板(2)组件焊接至基板(1)上,得到基板(1)组件;/n步骤五、元件装配:将焊膏滴加至定位筒(6)中,将母排(5)和电极(4)上的导电针(7)按照设计位置对准插入,实现初定位后得到IGBT模块胚体;/n步骤六、第三次焊接:将IGBT模块胚体送进隧道炉的进口,将隧道炉履带的运转速度设定为0.003-0.005m/s,控制隧道炉焊接段温度在220-350℃范围内,在焊接全程中需通氮气保护,进行回流焊接,从隧道炉出口取出IGBT模块胚体;/n步骤七、X光探测:用X光扫描仪对焊接好的IGBT模块胚体进行探测,剔除空洞率不符合要求的胚体;/n步骤八、外壳安装:将IGBT模块胚体与外壳和其它结构件按要求组装、整理;/n步骤九、灌胶保护:通过外壳上的注入口,向IGBT模块胚体中灌注硅凝胶;/n步骤十、高温老化:在120-150℃温度范围内,进行12-24h的老化;/n步骤十一、端子成型:将引出的电极(4)端子折弯、整形、固定,得到IGBT模块成品;/n步骤十二、测试出厂:对IGBT模块成品测试后进行标示包装。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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