[发明专利]光刻胶组合物、制作方法、基板及显示装置有效
| 申请号： | 201910809674.9 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN110501875B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李伟;闫梁臣;周斌;夏晶晶;张扬;宋威;王轩昂 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;H10K59/12;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张筱宁;宋海斌 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光刻胶组合物、制作方法、基板及显示装置。该光刻胶组合物包括以重量百分比计的：5‑25％的亚克力系主体材料、0.5‑2％的光引发剂、0.5‑2％的可聚合单体、0.1‑1％多官能团可交联聚合单体、0.1‑1％的添加剂、以及余量的溶剂。该制作方法包括：在目标膜层上涂覆光刻胶层，光刻胶层含光刻胶组合物；对光刻胶层进行对准曝光，进行显影，对目标膜层进行刻蚀；在第一温度范围内进行热处理，光刻胶层中交联网络结构发生断裂，对图形化的光刻胶层进行剥离。该基板中膜层由上述制作方法制成。该显示装置包括上述基板。本申请能够解决现有的光刻胶剥离不完全带来的光刻胶残留、基板质量差或显示装置显示质量差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，其特征在于，包括以重量百分比计的：5-25％的亚克力系主体材料、0.5-2％的光引发剂、0.5-2％的可聚合单体、0.1-1％多官能团可交联聚合单体、0.1-1％的添加剂、以及余量的溶剂；/n所述亚克力系主体材料为聚丙烯酸甲酯和聚丙烯酸的共聚物；/n所述多官能团可交联聚合单体为4-甲基丙烯酰氧基-1-1’-甲基丙烯酰氧基-苯乙基-TEMPO；或者，4-甲基丙烯酰氧基-1-1’-甲基丙烯酰氧基-丙酸甲酯基-TEMPO；/n所述可聚合单体为丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸乙酯中的至少一种。/n
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