[发明专利]机台压力泄漏测试方法、装置、存储介质和电子设备在审
| 申请号： | 201910810208.2 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112444350A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 黄士奇;陈三城;刘宏昇;宋标 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;孙宝海 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供了一种机台压力泄漏测试方法、装置、介质及设备，涉及半导体生产技术领域。所述方法包括：在检测到压力泄漏测试通知指令时，向机台发送第一状态转换指令，以用于将所述机台从生产状态转换为停止派货状态；若侦测到所述机台已执行完预约产品的制程，则向所述机台发送压力泄露测试指令，以用于将所述机台从所述停止派货状态转换为执行测漏状态；接收所述机台执行压力泄露测试获得的泄漏测试结果。本公开实施例的技术方案中，根据压力泄漏测试通知指令控制机台的状态，并在机台执行完已预约产品的制程时通知机台进行压力泄漏测试，可以提升机台利用率，提高晶圆良率。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 压力 泄漏 测试 方法 装置 存储 介质 电子设备 | ||
【主权项】：
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