[发明专利]液体压力控制装置和方法、清洗液供给机构在审
| 申请号： | 201910813648.3 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110531794A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李文杰;张明;李爱兵 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液体压力控制装置和方法、清洗液供给机构，该装置包括压力检测单元、执行单元、压力调节阀和控制单元，其中，压力调节阀设置在进液管路上，用于调节进液管路中的液体压力的大小；压力检测单元设置在进液管路上，且位于压力调节阀的输出端一侧，用于检测进液管路中的液体压力的实际值，并将其发送至控制单元；执行单元与压力调节阀连接，用于控制压力调节阀的开度；控制单元用于根据液体压力的实际值和设定值进行计算，并根据计算结果通过执行单元控制压力调节阀的开度，以使进液管路中的液体压力等于所述设定值。本发明提供的液体压力控制装置，其不仅可以提高调节便捷性，而且可以提高喷淋流量的稳定性，进而提高清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 压力调节阀 液体压力 进液管路 液体压力控制装置 压力检测单元 进液管 开度 控制压力调节阀 清洗液供给机构 单元控制 清洗效果 便捷性 输出端 喷淋 发送 检测 | ||
【主权项】：
1.一种液体压力控制装置，其特征在于，包括压力检测单元、执行单元、压力调节阀和控制单元，其中，/n所述压力调节阀设置在进液管路上，用于调节所述进液管路中的液体压力的大小；/n所述压力检测单元设置在所述进液管路上，且位于所述压力调节阀的输出端一侧，用于检测所述进液管路中的液体压力的实际值，并将其发送至所述控制单元；/n所述执行单元与所述压力调节阀连接，用于控制所述压力调节阀的开度；/n所述控制单元用于根据液体压力的所述实际值和设定值的差值进行计算，并根据计算结果通过所述执行单元控制所述压力调节阀的开度，以使所述进液管路中的液体压力等于所述设定值。/n
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