[发明专利]镀膜设备有效
| 申请号： | 201910814975.0 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN112095084B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 马绍为;陈昶维 | 申请（专利权）人： | 采钰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 任芸芸;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种镀膜设备包括加工腔室、旋转装置以及旋转承载座。旋转装置设置于前述加工腔室中。旋转承载座连接至前述旋转装置。旋转承载座包括两个延伸元件、两个容纳元件以及两个销。前述延伸元件围绕中心轴设置且相互分离，其中前述延伸元件的每一个具有一侧面。前述容纳元件的每一个具有一底面，前述容纳元件的其中一个连接至前述侧面的其中一个，且前述容纳元件的另一个连接至前述侧面的另一个。前述销的其中一个连接至前述底面的其中一个，且前述销的另一个连接至前述底面的另一个。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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