[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 201910820587.3 | 申请日: | 2019-08-29 |
公开(公告)号: | CN110518073B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 程磊磊;孙涛;徐纯洁;王东方;王庆贺;何敏 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/423;H01L29/417;H01L21/336 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 张京波;曲鹏 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制备方法、显示装置,该薄膜晶体管包括衬底基板、设置于所述衬底基板之上的有源层以及设置于所述有源层之上的绝缘层,所述薄膜晶体管还包括设置于所述绝缘层之上的源漏极和栅极,所述源漏极和所述栅极同层设置;以减小薄膜晶体管膜层的段差,从而提高产品良率以及提升显示面板的显示品质。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管,包括衬底基板、设置于所述衬底基板之上的有源层以及设置于所述有源层之上的绝缘层,其特征在于,所述薄膜晶体管还包括设置于所述绝缘层之上的源漏极和栅极,所述源漏极和所述栅极同层设置。/n
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