[发明专利]溅射离子泵的磁轭组件有效
| 申请号： | 201910822526.0 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110491764B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 窦仁超;崔寓淏;闫荣鑫;孙立臣;孟冬辉;喻新发;洪晓鹏;窦威;周雪茜 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | H01J41/12 | 分类号： | H01J41/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射离子泵的磁轭组件，包括磁钢、轭铁和不锈钢定位板，磁钢分成两组，分别在两块轭铁的中间安装3层磁钢，中间两层，上下各两层，该结构简单紧凑，漏磁少，磁场均匀，并可以明显提高离子泵的中心磁场强度。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 离子 组件 | ||
【主权项】：
1.溅射离子泵的磁轭组件，包括偶数个磁钢、两块轭铁、定位片和中间层固定片，其中磁钢具有相同尺寸和磁能积，其中，井字形溅射离子泵的泵壳左右两侧各设置一块竖直的轭铁，轭铁分别与井字形一侧形成上下轴对称的容纳磁钢的空间，井字形中间内凹部分上下轴对称形成容纳若干磁钢的中央空间，其中，若干磁钢分别安装在上下方向的两侧空间和中央空间中，两侧各容纳一块磁钢，中央空间容纳多块磁钢，泵壳的左右两次磁轭同样为对称结构，零件组成完全一致，其中，所有磁钢和磁轭整体沿着泵壳外侧轴向形成封闭的磁力线回路。/n
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