[发明专利]存储器、反熔丝存储单元及其制造方法在审
申请号: | 201910828761.9 | 申请日: | 2019-09-03 |
公开(公告)号: | CN112447733A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 冯鹏;李雄 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/112 | 分类号: | H01L27/112;H01L21/8246;G11C29/00 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 龙威壮;孙宝海 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种存储器、反熔丝存储单元及其制造方法。该反熔丝存储单元包括反熔丝电容,包括两个电极;以及开关器件,包括源极、漏极和栅极;其中,所述源极与一个所述电极导通,所述漏极用于接入零电位,所述栅极用于接入控制电位,另一个所述电极用于接入烧写电位。采用这种结构的反熔丝存储单元所需的控制电压低,因此在烧写完成后该开关器件的可靠性相对较高。 | ||
搜索关键词: | 存储器 反熔丝 存储 单元 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的