[发明专利]MEMS麦克风在审
申请号: | 201910843472.6 | 申请日: | 2019-09-06 |
公开(公告)号: | CN110662149A | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 袁兆斌;王友 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 11327 北京鸿元知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张娓娓;袁文婷 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供一种MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB板形成的封装结构,所述金属外壳为双层外壳,包括外层金属壳和内层金属壳,其中,在所述外层金属壳与所述内层金属壳之间设置有预设距离,所述外层金属壳与所述内层金属壳分别与所述PCB板固定,其中,在所述外层金属壳或者所述内层金属壳上设置有贯通微孔。利用本发明,能够解决由单层外壳结构的MEMS麦克风受电磁场的影响MEMS麦克风性能的稳定性,以及采用双壳结构因为气体受热膨胀无法排除而出现爆壳等问题。 | ||
搜索关键词: | 内层金属壳 外层金属壳 金属外壳 封装结构 受热膨胀 双层外壳 双壳结构 外壳结构 预设距离 电磁场 单层 微孔 贯通 | ||
【主权项】:
1.一种MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB板形成的封装结构,其特征在于,所述金属外壳为双层外壳,包括外层金属壳和内层金属壳,其中,/n在所述外层金属壳与所述内层金属壳之间设置有预设距离,所述外层金属壳与所述内层金属壳分别与所述PCB板固定,其中,/n在所述外层金属壳或者所述内层金属壳上设置有贯通微孔。/n
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