[发明专利]一种面板缺陷分层检测装置和方法在审
申请号: | 201910846338.1 | 申请日: | 2019-09-09 |
公开(公告)号: | CN110658206A | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 张玉;洪志坤;欧昌东;郑增强;张胜森 | 申请(专利权)人: | 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01N21/88 |
代理公司: | 42222 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 胡琦旖 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于面板检测技术领域,公开了一种面板缺陷分层检测装置和方法,装置包括:第一成像单元、第二成像单元、光源;成像单元均包括相机组件、偏光元件;方法包括:打开光源,光源产生的光垂直入射至待测面板的侧面;将第一偏光元件、第二偏光元件的透光轴方向分别调节至与待测面板的内偏光层的透光轴方向平行;通过第一相机组件、第二相机组件分别获得第一图像、第二图像;根据第一图像、第二图像得到第一检测信息。本发明解决了现有技术中无法区分面板表面缺陷和面板内部缺陷的问题,本发明能够判断出缺陷位置,实现表层灰尘过滤。 | ||
搜索关键词: | 成像单元 偏光元件 相机组件 图像 透光轴 光源 垂直入射 方向平行 分层检测 光源产生 灰尘过滤 检测信息 面板表面 面板检测 面板缺陷 内部缺陷 缺陷位置 和面板 偏光层 侧面 | ||
【主权项】:
1.一种面板缺陷分层检测装置,其特征在于,待测面板具有内偏光层、上表面层、下表面层,所述内偏光层位于所述上表面层和所述下表面层之间,检测装置包括:/n第一成像单元,所述第一成像单元设置于所述待测面板的所述上表面层的上方;所述第一成像单元包括第一相机组件、第一偏光元件,所述第一偏光元件位于所述第一相机组件与所述待测面板之间;所述第一偏光元件的透光轴方向可调;/n第二成像单元,所述第二成像单元设置于所述待测面板的所述下表面层的下方;所述第二成像单元包括第二相机组件、第二偏光元件,所述第二偏光元件位于所述第二相机组件与所述待测面板之间;所述第二偏光元件的透光轴方向可调;/n光源,所述光源设置于所述待测面板的侧面,所述光源产生的光垂直入射至所述待测面板的侧面。/n
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