[发明专利]6750nm长波通红外滤光敏感元件在审
| 申请号： | 201910850023.4 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110456436A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 吕晶;严浪;刘晶 | 申请（专利权）人： | 杭州麦乐克科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 33289 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人： | 姚宇吉<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 311100浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种6750nm长波通红外滤光敏感元件，包括基板、第一镀膜层和第二镀膜层，其中基板设于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其中第一镀膜层包括12组交替设置的Ge层和ZnS层，第二镀膜层包括13组交替设置的Ge层和ZnS层。本发明所设计的6750nm长波通红外滤光敏感元件的性能参数最佳可达到：5％Cut on＝6750±50nm，6900～14000nm，Tavg≥86％，7000～14000nm，Tavg≥84％，3200～6500nm，Tavg≤3％。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜层 长波 交替设置 敏感元件 基板 滤光 性能参数 | ||
【主权项】：
1.一种6750nm长波通红外滤光敏感元件，包括基板、第一镀膜层和第二镀膜层，其中基板设于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征在于：/n所述基板为Ge基板；/n所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有322～342nm厚度的Ge层、273～293nm厚度的ZnS层、236～256nm厚度的Ge层、403～423nm厚度的ZnS层、137～157nm厚度的Ge层、474～494nm厚度的ZnS层、227～247nm厚度的Ge层、458～478nm厚度的ZnS层、237～257nm厚度的Ge层、341～361nm厚度的ZnS层、163～183nm厚度的Ge层、523～543nm厚度的ZnS层、224～244nm厚度的Ge层、564～584nm厚度的ZnS层、364～384nm厚度的Ge层、447～467nm厚度的ZnS层、309～329nm厚度的Ge层、783～803nm厚度的ZnS层、182～202nm厚度的Ge层、671～691nm厚度的ZnS层、432～452nm厚度的Ge层、237～257nm厚度的ZnS层、421～441nm厚度的Ge层、1178～1198nm厚度的ZnS层；/n所述的第二镀膜层由内向外依次排列包含有335～355nm厚度的Ge层、224～244nm厚度的ZnS层、246～266nm厚度的Ge层、143～163nm厚度的ZnS层、72～92nm厚度的Ge层、230～250nm厚度的ZnS层、120～140nm厚度的Ge层、234～254nm厚度的ZnS层、125～145nm厚度的Ge层、117～137nm厚度的ZnS层、100～120nm厚度的Ge层、232～252nm厚度的ZnS层、140～160nm厚度的Ge层、228～248nm厚度的ZnS层、151～171nm厚度的Ge层、262～282nm厚度的ZnS层、126～146nm厚度的Ge层、428～448nm厚度的ZnS层、140～160nm厚度的Ge层、281～301nm厚度的ZnS层、165～185nm厚度的Ge层、295～315nm厚度的ZnS层、495～515nm厚度的Ge层、196～216nm厚度的ZnS层、361～381nm厚度的Ge层、1164～1184nm厚度的ZnS层。/n
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