[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统在审
| 申请号： | 201910853656.0 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111394727A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 陈仁华;聂国勇;李建立 | 申请（专利权）人： | 长沙利洁环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/18;C25C1/12;C25C7/06;C25B1/26;C25B15/08;B01D53/18 |
| 代理公司： | 长沙优企知识产权代理事务所(普通合伙) 43243 | 代理人： | 刘佳芳 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统，包括电解槽（30）、循环槽（20）、氯气吸收回用塔（10）；所述电解槽（30）内设有阳极区（301）和阴极区（302）；所述循环槽（20）分为阳极循环区（229）、蚀刻循环区（230）和阴极循环区（231）；所述电解槽的阳极区（301）分别与循环槽的阳极循环区（229）和蚀刻循环区（230）连通；所述电解槽的阴极区（302）与阴极循环区（231）相互连通；所述电解槽的阳极区（301）和阴极区（302）以及所述循环槽（20）的蚀刻循环区（230）、阴极循环区（231）与氯气吸收回用塔（10）连通；所述氯气吸收回用塔（10）与阳极循环区（229）连通。该再生系统可以将酸性蚀刻液在线循环再生直接利用，节约成本，且氯气零排放，保护环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 系统 | ||
【主权项】：
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