[发明专利]一种具有室温隧道磁电阻效应的氧化钛基纳米颗粒复合薄膜的制备方法及装置有效
| 申请号： | 201910854593.0 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110565059B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张亦文;陈浩禹;胡文彬;吴忠;秦真波 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/50 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 曹玉平 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有室温隧道磁电阻效应的纳米颗粒复合薄膜的制备方法及装置。使用了旋转遮挡法提高了颗粒膜的结晶度和金属陶瓷界面清晰度，减少金属颗粒氧化。选用控共溅射方法进行薄膜制备，其中磁性金属选用溅射靶为强磁靶，溅射源为直流源；陶瓷选用溅射靶为永磁靶，溅射源为射频源。在溅射过程中通过旋转遮挡溅射的方法提高薄膜中磁性颗粒的边界清晰度，进而提高纳米颗粒薄膜室温隧道磁电阻特性。装置中自转样品台处于真空腔体上部，与真空腔体内壁相连，固定基板通过金属挡板与自转样品台相连，固定压片通过调节螺母固定溅射基片，溅射基片位于两对称金属挡板之间；陶瓷靶溅射枪位于自转样品台侧下方，金属靶溅射枪位于自转样品台正下方。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 室温 隧道 磁电 效应 氧化 纳米 颗粒 复合 薄膜 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种具有室温隧道磁电阻效应的纳米颗粒复合薄膜的装置，其特征是在处于密闭真空腔室内，设置有固定基板、调节螺母、固定压片、溅射基片、自转样品台、金属挡板、陶瓷靶溅射枪和金属靶溅射枪；自转样品台处于真空腔体上部，与真空腔体内壁相连，固定基板通过金属挡板与自转样品台相连，固定基板上有调节螺母，固定压片通过调节螺母固定溅射基片；金属挡板呈对称放置，溅射基片位于两对称金属挡板之间；陶瓷靶溅射枪位于自转样品台侧下方，金属靶溅射枪位于自转样品台正下方。/n
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