[发明专利]一种光刻机导正结构在审
| 申请号： | 201910866312.3 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110577074A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 赵晓波;王永和;黄微益;钱坤 | 申请（专利权）人： | 上海信耀电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/24 | 分类号： | B65G47/24;G03F7/20 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 沈栋栋 |
| 地址： | 201800*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻机导正结构，包括：转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接；第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过；第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接。本发明能够保证光刻的对准精度，提高产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 托板 输送机构 输送组件 气缸 传动连接 滚轮轴 电机 转换机构 上表面 穿过 导正结构 电机传动 光刻机 光刻 对准 合格率 保证 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机导正结构，其特征在于，包括：/n转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接，所述第一气缸用于驱动所述托板上下移动；/n第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过，若干所述滚轮轴用于输送产品沿X轴方向移动；/n第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二气缸用于驱动若干所述输送组件上下移动，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行，若干所述输送组件用于输送所述产品沿Y轴方向移动。/n
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