[发明专利]集成芯片及其形成方法有效
| 申请号： | 201910870363.3 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110957326B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 黄文铎;李秉澄;施宏霖;刘珀玮;许佑凌;才永轩;林佳盛;杨世匡 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/11521 | 分类号： | H01L27/11521;H01L27/11526;H01L27/11568;H01L27/11573;H01L23/50 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请的各个实施例涉及一种集成存储器芯片，包括具有带状单元架构的存储器阵列，该带状单元架构减少了不同带状单元类型的数量并且减小了带状线密度。在一些实施例中，存储器阵列限于三种不同类型的带状单元：源极线/擦除栅极(SLEG)带状单元；控制栅极/字线(CGWL)带状单元；和字线带状单元。少量不同的带状单元类型简化了存储器阵列的设计，并且还简化了相应互连结构的设计。此外，在一些实施例中，三种不同的带状单元类型将字线、擦除栅极和控制栅极电耦合到互连结构的不同金属化层中的相应带状线。通过在不同的金属化层之间铺展带状线，减小了带状线密度。本发明的实施例还涉及集成芯片及其形成方法。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 芯片 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910870363.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
