[发明专利]一种光电探测产品键合涂丝工艺有效
申请号: | 201910871848.4 | 申请日: | 2019-09-16 |
公开(公告)号: | CN110571307B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 朱赛宁;张世权;王涛;潘建华 | 申请(专利权)人: | 无锡中微晶园电子有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/02;H01L31/0203;H05K3/30 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于光电探测产品制造技术领域,具体涉及一种光电探测产品键合涂丝工艺。本发明包括如下步骤:(a)X射线探测器进行装片,在PCB板上涂覆导电胶;(b)将光敏二极管阵列芯片粘连到PCB板表面,并进行高温固化;(c)进行硅铝丝键合,将光敏二极管阵列芯片与PCB板进行电连接;(d)在上述键合丝上使用特定胶水A进行逐个点胶,点胶位置中心为键合点;(e)将晶体粘接到芯片表面并固化;(f)使用特定胶水B覆盖步骤(d)的点胶胶点,并对上述晶体与PCB板间做连接和保护;(g)对上述PCB板进行排针焊接,即得到产品;(h)测试成品的电性能并做可靠性筛选。本发明工艺步骤简单,克服了现有涂丝工艺在可靠性和暗电流方面的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 探测 产品 键合涂丝 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种光电探测产品键合涂丝工艺,其特征在于,包括以下步骤:/n(a) X射线探测器进行装片,在PCB板上涂覆厚度为20~50μm的导电胶;/n(b)将单通道漏电小于10pA的光敏二极管阵列芯片通过导电胶粘连到PCB板表面,并进行高温固化;/n(c)使用0.8~1.3mil硅铝丝键合,将光敏二极管阵列芯片与PCB板进行电连接,保证弧高>300μm,键合拉力>5g;/n(d)在上述键合丝上使用特定胶水A进行逐个点胶,点胶位置中心为键合点,点胶的长×宽=(1±0.2)mm*(3±0.3)mm;/n(e)将尺寸为(25.5±0.5)mm*(4±0.3)mm的晶体粘接到芯片表面并固化;/n(f)采用特定胶水B进行条状涂胶,涂覆住步骤(d)的点胶胶点,并填充晶体、芯片及PCB板之间的空隙,其后进行胶水固化;/n(g)对上述PCB板进行排针焊接,即得到产品;/n(h)测试成品的电性能并做可靠性筛选。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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