[发明专利]具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构

摘要

本发明公开了一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，解决了如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中的问题。在Y向移动平台的前后两侧分别连接前部Y向伸缩弹性皮腔（14）和后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在Y向移动平台的左右两侧分别连接左部X向伸缩弹性皮腔（6）和右部X向伸缩弹性皮腔（7），组成一个封闭的挡水伞，由于前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔（13）具有前后弹性伸缩的功能，部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔具有左右弹性伸缩的功能，而DD马达安装在Y向移动平台的下面，从而实现了执行机构在实现XYθ三轴的复合运动时，不会发生伞面水渗漏现象。

主权项

1.一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，包括在工作台上固定设置的X向丝杠导轨副（1），在X向丝杠导轨副（1）上的X向移动平台上设置有Y向丝杠导轨副（2），在Y向丝杠导轨副（2）的Y向移动平台（10）上连接有直接驱动电机，在向上伸出的直接驱动电机的输出轴（11）上连接有旋转吸盘（12），在旋转吸盘（12）上吸附有异形晶片，在旋转吸盘（12）的上方一侧设置有异形晶片轮廓修磨倒角砂轮（17），在异形晶片轮廓修磨倒角砂轮（17）的两侧均设置有冷却水喷嘴（18），在X向丝杠导轨副（1）的四周外侧的工作台上固定设置有晶片轮廓修磨倒角操作盒支架（3），晶片轮廓修磨倒角操作盒支架（3）上固定设置有中空的回字形台板（4），其特征在于，在回字形台板（4）的前侧台面上设置有前侧X向倒L形导轨（20），在回字形台板（4）的后侧台面上设置有后侧X向倒L形导轨（21），前侧X向倒L形导轨（20）与后侧X向倒L形导轨（21）是彼此平行设置的，在前侧X向倒L形导轨（20）的左部与后侧X向倒L形导轨（21）的左部之间活动设置有左部X向伸缩弹性皮腔（6），在前侧X向倒L形导轨（20）的右部与后侧X向倒L形导轨（21）的右部之间活动设置有右部X向伸缩弹性皮腔（7），在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的右端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8），在右部X向伸缩弹性皮腔（7）的左端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的前部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的前部之间活动设置有前部Y向伸缩弹性皮腔（14），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的后部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的后部之间活动设置有后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在前部Y向伸缩弹性皮腔（14）的后侧面与后部Y向伸缩弹性皮腔（13）的前侧面之间连接有Y向移动平台（10），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的前端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的前端之间固定连接有前端安装板（16），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的后端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的后端之间固定连接有后端安装板（15），在前侧X向倒L形导轨（20）和后侧X向倒L形导轨（21）的外侧四周的回字形台板（4）上设置有长方形框架（5），在长方形框架（5）上分别设置有排水口和箱内湿气抽吸口（19）。/n