[发明专利]一种磁密封旋转接头及具有该结构的OLED基板蚀刻机

摘要

本发明涉及一种磁密封旋转接头及具有该结构的OLED基板蚀刻机，磁密封旋转接头包括固定座，固定座的中部穿设有喷管连接座，喷管连接座呈管状，包括连接段和旋转段，连接段外接进液供给管，旋转段外接喷洒管，旋转段插设在腔体中并与腔体的内侧壁间可转动地配合，旋转段的内侧一端处沿其外缘周向上埋设有第一磁铁片，连接段的内侧端处沿其外缘周向上埋设有第二磁铁片，第一磁铁片与第二磁铁片相吸引使得旋转段的内侧一端端面与连接段的内侧端面贴合。本发明能够在喷管旋转动过程中仍维持进液供给管静止，同时起到密封作用，采用这一磁密封旋转接头作为喷胶蚀刻中的接头，能够提高具有该结构的OLED基板蚀刻机的工作稳定性，防止药液渗漏。

主权项

1.一种磁密封旋转接头，包括外部的固定座，所述固定座的中部具有沿其轴线方向贯通的腔体，所述腔体中穿设有喷管连接座，所述喷管连接座整体呈管状，包括相分离的连接段和旋转段，所述连接段外接进液供给管，所述旋转段外接喷洒管，所述连接段固定在所述腔体的一端且与所述固定座固定连接，所述旋转段插设在腔体中并与所述腔体的内侧壁间可转动地配合，所述旋转段的内侧一端位于所述腔体内并且端面与所述连接段的内侧端面相接触，所述旋转段的另一端从所述腔体穿出，其中，所述旋转段的内侧一端处沿其外缘周向上设置有第一环形固定槽，所述第一环形固定槽内埋设有环状的第一磁铁片，所述连接段的内侧端处沿其外缘周向上设置有第二环形固定槽，所述第二环形固定槽内埋设有环状的第二磁铁片，所述第一磁铁片与所述第二磁铁片沿喷管连接座的轴线方向平行设置，所述第一磁铁片与所述第二磁铁片相吸引使得所述旋转段的内侧一端端面与所述连接段的内侧端面贴合。/n