[发明专利]氯硅烷净化装置及其净化方法在审
| 申请号： | 201910875082.7 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110624268A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 吴春蕾;段先健;王跃林 | 申请（专利权）人： | 广州汇富研究院有限公司;宜昌汇富硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14;B01D24/00;B01D24/10;C01B33/107 |
| 代理公司： | 44365 广州广典知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 谢伟 |
| 地址： | 510000 广东省广州市高新技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及氯硅烷的净化领域，公开了一种氯硅烷净化装置及其净化方法，其中氯硅烷净化装置，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。净化提存氯硅烷原料。 | ||
| 搜索关键词： | 氯硅烷 汽化腔 热工质通道 连通 残液排放口 进口和出口 净化装置 原料进口 汽化器 净化 过滤 过滤器 废液收集器 热工质出口 热工质进口 存储出口 废液进口 过滤出口 原料出口 存储器 排放口 相通 进口 | ||
【主权项】：
1.氯硅烷净化装置，其特征在于，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储器包括存储进口和存储出口，所述过滤器包括过滤进口、过滤出口和过滤排放口，所述废液收集器包括废液进口，所述汽化器包括原料进口、原料出口、热工质进口、热工质出口和残液排放口；/n所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；/n所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。/n
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