[发明专利]一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器有效
| 申请号： | 201910875346.9 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110687065B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 李铁;刘延祥;王翊;周宏;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/01;G01N21/03 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种红外光源的制备方法及一种红外气体传感器，该红外光源的制备方法包括以下步骤：制备加热器，加热器包括硅衬底、支撑膜和加热电阻层，支撑膜和加热电阻层依次沉积在硅衬底上；绝缘层沉积在加热电阻层上；制备辐射波长控制结构，辐射波长控制结构包括金属反射层、介质层和周期性纳米金属层，金属反射层、介质层和周期性纳米金属层依次沉积在绝缘层上。红外光源为窄带红外光源，窄带红外光源通过调整超材料结构和尺寸能够辐射中心波长3μm‑9μm的窄带红外光，窄带红外光的半高宽不大于220nm；该红外气体传感器采用上述红外光源的制备方法所制备的红外光源，如此，大大减小了红外气体传感器的体积，有利于实现红外气体传感器的微小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 光源 制备 方法 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种红外光源的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n制备加热器，所述加热器包括硅衬底(1)、支撑膜(2)和加热电阻层(3)，所述支撑膜(2)和所述加热电阻层(3)依次沉积在所述硅衬底(1)上；/n所述绝缘层(4)沉积在加热电阻层上(3)；/n制备辐射波长控制结构，所述辐射波长控制结构为超材料，所述超材料包括金属反射层(5)、介质层(6)和周期性纳米金属层(7)，所述金属反射层(5)、所述介质层(6)和所述周期性纳米金属层(7)依次沉积在所述绝缘层(4)上；/n所述红外光源(8)为窄带红外光源，所述窄带红外光源通过调整超材料结构和尺寸能够辐射中心波长3μm-9μm的窄带红外光，所述窄带红外光的半高宽不大于220nm。/n
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