[发明专利]一种在曲面材料上镀膜的装置及方法

摘要

本发明涉及一种在曲面材料上镀膜的技术，具体涉及一种利用真空镀膜设备在曲面材料表面镀膜的方法。首先安装被镀样品到被镀样品固定架上，然后开始抽真空，真空达到以后，往真空室内充入反应惰性气体。靶材进行预溅射，待预溅射结束，使固定在公转转盘装置上的被镀样品固定架旋转到靶的正前方后停止转动，然后使被镀样品固定架开始自转。然后启动正式溅射开始镀膜。本发明的镀膜装置及方法可以在曲面基材上镀制出均匀的薄膜。本发明的镀膜装置及方法可以按需要在曲面上镀制多层薄膜。本发明的装置结构简单，易于实现大面积生产。

主权项

1.一种曲面镀膜装置，其特征在于:包括公转转盘旋转装置、被镀样品自转装置、膜厚修正装置。公转转盘旋转装置包括公转转盘以及驱动公转转盘转动的公转齿轮，所述公转齿轮与公转转盘内侧啮合；公转转盘上设有被镀样品固定架，通过公转齿轮驱动公转转盘转动，从而将被镀样品固定架上的被镀样品旋转到磁控靶前方溅射镀膜。被镀样品自转装置包括位于被镀样品固定架上的自转转盘、被镀样品固定架底部的轴承座、以及驱动自转转盘转动的自转齿轮；所述自转齿轮位于公转转盘上方，其外侧与自转转盘啮合，所述轴承座固定在公转转盘上，通过自转齿轮驱动自转转盘转动，从而使得被镀样品固定架在轴承座上发生转动，被镀样品自转的目的是为了获得横向上厚度均匀的薄膜。膜厚修正装置包括修正板以及修正板固定架，所述修正板固定架设置在公转转盘上，修正板固定架与被镀样品固定架平行，修正板位于磁控靶与被镀样品之间。所述修正板是根据被镀样品的曲面形状及靶材的尺寸经计算设计而得的，其目的是为了获得径向上厚度均匀的薄膜。/n