[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201910886762.9 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN111105974A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 大庭弘;杉山安彦;大塚靖孝 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供带电粒子束装置。简便地计算引出电压的设定值。带电粒子束装置具有：气体导入室，其被导入原料气体；等离子体生成室，其与气体导入室连接；线圈，其沿着等离子体生成室的外周卷绕，被施加高频电力；引出电极，其对从等离子体生成室的出口的等离子体开口流出的等离子体施加引出电压；电流测定部，其测定从等离子体开口引出的等离子体的等离子体电流的大小；引出电压计算部，其根据相对于引出电压的变化的由电流测定部测定的等离子体电流的大小的变化，计算引出电压的设定值即引出电压设定值；以及控制部，其根据引出电压计算部计算的引出电压设定值对引出电压进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
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