[发明专利]一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备

摘要

本发明公开了一种石墨舟的缓存导正装置及管式PECVD设备，该石墨舟的缓存导正装置包括：底座，其将各个组件固定；至少两组校正机构，其调整石墨舟的位置；以及感应组件，其包括触发组件和响应组件；其中，两两所述校正机构对称设置于所述底座的两侧，所述感应组件固定于所述底座的一侧且位于两两所述校正机构之间。本案的石墨舟的缓存导正装置有效防止石墨舟由缓存架上反复取放的过程中，对石墨舟造成划伤破损，导致石墨舟定位偏差加大、石墨舟掉落、石墨舟维护成本升高等问题的出现。

主权项

1.一种石墨舟的缓存导正装置，所述石墨舟具有位于其基准平面上的X轴与Y轴以及垂直于所述基准平面的Z轴,所述石墨舟沿着X轴方向延伸并且在其底部固接有在X轴方向上对称设置的定位导向组件，其特征在于，所述缓存导正装置包括：/n底座(340)，其位于所述石墨舟的正下方；/n两组校正机构(310)，在所述石墨舟的下落缓存过程中，每一组所述校正机构(310)与相应一组所述定位导向组件相配合；以及/n感应组件(350)，其包括触发组件(330)和响应组件(320)；/n其中，两组所述校正机构(310)在X轴方向上对称设置于所述底座(340)的两侧，以使得每一组所述校正机构(310)位于相应一组所述定位导向组件的正下方，所述感应组件(350)固定于所述底座(340)的一侧且位于两组所述校正机构(310)之间。/n