[发明专利]研磨浆供应系统及无尘室在审
| 申请号： | 201910891240.8 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112536722A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李善雄 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨浆供应系统，所述研磨浆供应系统包括供应装置和微波单元；所述供应装置包括接收研磨用研磨浆的研磨浆输入端、用于输出所述研磨浆至研磨机台的研磨浆输出端、设置在所述研磨浆输入端与所述研磨浆输出端之间的其他功能部件、及连接所述研磨浆输入端、所述其他功能部件及所述研磨浆输出端的传输管，所述微波单元至少向所述供应装置的所述其他功能部件及所述传输管中的研磨浆发射微波。本发明还提供一种无尘室。本发明的研磨浆供应系统通过微波单元可以抑制研磨浆中的微生物生长。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 系统 无尘室 | ||
【主权项】：
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