[发明专利]一种缸槽晶片检测系统在审
| 申请号： | 201910891341.5 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112540372A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 冯德利 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01S15/89 | 分类号： | G01S15/89;G01S15/04 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种缸槽晶片检测系统，该缸槽晶片检测系统包括声纳装置，控制器以及缸槽，声纳装置设置在缸槽的缸壁上，且该声纳装置与控制器相互联接。在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测缸槽中是否存在晶片破片残留。若在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测到缸槽中存在晶片破片残留，则锁定晶片移动装置，使晶片移动装置停止将后续的晶片继续放入缸槽中。本发明提出的缸槽晶片检测系统可以检测缸槽中的晶片破片残留，并实现在缸槽中存在晶片破片的情况下自动使晶片移动装置停机，以防止晶片破片与后续放入的晶片发生二次碰撞造成更大的危害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于和舰芯片制造（苏州）股份有限公司，未经和舰芯片制造（苏州）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910891341.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：误码率检测的方法和装置
- 下一篇：基于TDLAS技术的乙烯检测方法
