[发明专利]掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统有效
| 申请号： | 201910891973.1 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112526825B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘子成 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01L1/18 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统。一种掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统，用于监控掩膜板遮蔽叶片与杆积分器壳体之间的剐蹭，所述掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统包括：压力检测模块，设置于所述杆积分器壳体与所述掩膜板遮蔽叶片相对的端面，用于检测所述掩膜板遮蔽叶片与所述端面之间的压力；模数转换模块，与所述压力检测模块连接并将其输出信号转换为数字信号；以及监控模块，用于接收所述模数转换模块的数字信号并根据所述数字信号输出所述压力检测模块的检测结果。上述掩膜板遮蔽叶片剐蹭监控系统可以使得用户可以通过监控系统监控掩膜板遮蔽叶片与端面之间的剐蹭，使得避免刮伤掩膜板遮蔽叶片。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 遮蔽 叶片 监控 系统 | ||
【主权项】：
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