[发明专利]冷却系统及冷却方法在审
| 申请号： | 201910892559.2 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110918550A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 萧加荣;黄韦翔;彭圣有;彭垂亚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/08;B08B3/14;B08B13/00;F25D31/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭示提供了一种冷却系统及冷却方法。此系统包括贮槽、导管、冷却器、及浓度计。贮槽用以容纳第一液体。导管耦接到贮槽并且用以从贮槽递送第一液体。冷却器覆盖导管以冷却由导管递送的第一液体。浓度计用以量测由冷却器冷却的第一液体的浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却系统 冷却 方法 | ||
【主权项】：
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