[发明专利]一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物在审
| 申请号： | 201910896784.3 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110597025A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 刘江华;付元涛;章小琴 | 申请（专利权）人： | 华璞微电子科技(宁波)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，属于微电子材料技术领域，关键在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5‑45％、有机胺0.1‑50％、极性有机溶剂0.1‑55％、稳定剂0.1‑20％和水30‑99.2％。本发明的组合物具有剥离性能强、剥离时间短、操作温度低以及对玻璃基板腐蚀性小等优点，剥离之后玻璃基板可以重复使用。同时该组合物还具有无毒无腐蚀性、无低沸点有机挥发物、对环境无污染、低泡等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 剥离 光刻胶剥离液 极性有机溶剂 彩色滤光片 环境无污染 强碱性物质 微电子材料 有机挥发物 质量百分比 剥离性能 低沸点 稳定剂 有机胺 无毒 | ||
【主权项】：
1.一种彩色滤光片光刻胶剥离液组合物，其特征在于，按质量百分比计，所述的组合物包括以下组分：无机强碱性物质0.5-45％、有机胺0.1-50％、极性有机溶剂0.1-55％、稳定剂0.1-20％和水30-99.2％。/n
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