[发明专利]存储器的制作设备及制作方法在审
| 申请号： | 201910899421.5 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110729166A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 胡凯;李远;毛格;邹贤;万先进 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11270 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种存储器的制作设备及制作方法，该制作设备包括：壳体，包括用于容纳目标物的腔体；第一暂存箱，用于暂存第一类反应气体；第一类进气管，第一类进气管的第一端与第一暂存箱连通，第一类进气管的第二端与腔体连通，用于向腔体内输送第一类反应气体；第一阀门，位于第一类反应气体流通的第一气流通路上，用于在第一暂存箱中的第一类反应气体的压强大于腔体内的压强时，导通第一气流通路；第三类进气管，与腔体连通，用于向腔体内输送第三类反应气体；其中，第三类反应气体与电离后的第一类反应气体发生反应生成第一产物，至少部分第一产物与目标物表面的物质发生反应生成第二产物，第二产物的电阻值小于预设电阻值。 | ||
| 搜索关键词： | 反应气体 进气管 暂存箱 压强 腔体连通 制作设备 体内 电阻 目标物表面 气流通路 存储器 第一端 目标物 电离 流通 导通 阀门 壳体 腔体 预设 暂存 连通 容纳 制作 | ||
【主权项】：
1.一种存储器的制作设备，其特征在于，包括：/n壳体，包括用于容纳目标物的腔体；/n第一暂存箱，用于暂存第一类反应气体；/n第一类进气管，所述第一类进气管的第一端与所述第一暂存箱连通，所述第一类进气管的第二端与所述腔体连通，用于向所述腔体内输送所述第一类反应气体；/n第一阀门，位于所述第一类反应气体流通的第一气流通路上，用于在所述第一暂存箱内的压强大于所述腔体内的压强时，导通所述第一气流通路；/n第三类进气管，与所述腔体连通，用于向所述腔体内输送第三类反应气体；其中，所述第三类反应气体与电离后的所述第一类反应气体发生反应生成第一产物，至少部分所述第一产物与所述目标物表面的物质发生反应生成第二产物，所述第二产物的电阻值小于预设电阻值。/n
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