[发明专利]包括场隔离层的集成电路器件及其制造方法有效
申请号: | 201910903777.1 | 申请日: | 2019-09-24 |
公开(公告)号: | CN111446251B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 郑元哲;赵学柱 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H10B10/00 | 分类号: | H10B10/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 弋桂芬 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种集成电路器件,该集成电路器件包括静态随机存取存储器(SRAM)阵列,该SRAM阵列包括:第一至第四有源鳍,沿第一方向彼此平行地延伸;第一栅极线,与第二至第四有源鳍重叠;第二栅极线,在第一方向上与第一栅极线间隔开并与第一至第三有源鳍重叠;第三栅极线,在第一方向上与第一栅极线间隔开并与第四有源鳍重叠;第四栅极线,在第一方向上与第二栅极线间隔开并与第一有源鳍重叠;第一场隔离层,接触第二有源鳍的一端;以及第二场隔离层,接触第三有源鳍的一端。第一至第四栅极线沿与第一方向交叉的第二方向延伸。 | ||
搜索关键词: | 包括 隔离 集成电路 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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