[发明专利]集成组合件及形成集成组合件的方法

摘要

本申请案涉及集成组合件及形成集成组合件的方法。一些实施例包含一种集成组合件，所述集成组合件具有沿着第一方向延伸的数字线及位于所述数字线上方的轨道。所述轨道包含与中介绝缘区相交替的半导体材料柱。所述轨道具有上部区段、中间区段及下部区段。第一绝缘材料沿着所述轨道的所述上部区段及所述下部区段。第二绝缘材料沿着所述轨道的所述中间区段。所述第二绝缘材料与所述第一绝缘材料在厚度及组成中的一者或两者上有所不同。导电栅极材料沿着所述轨道的所述中间区段，且通过所述第二绝缘材料与所述中间区段间隔开。沟道区位于所述柱的中间区段内，上部源极/漏极区位于所述柱的上部区段内，且下部源极/漏极区位于所述柱的下部区段内。一些实施例包含形成集成组合件的方法。